成功举办制造工程研究院高端论坛第十八场——《复合式能量加工在高效率蓝宝石晶圆抛光之应用》
2017-04-06访问次数:

201746日上午830,制造工程研究院高端论坛第十八场在王源兴国际会议中心G103成功举办。本次论坛荣幸地邀请到了来自台湾科技大学教授,华侨大学特聘教授,闽江学者讲座教授——陈炤彰教授,为华大师生带来了题为《复合式能量加工在高效率蓝宝石晶圆抛光之应用》的学术报告。本次论坛由研究院副院长黄辉教授主持。

陈炤彰教授首先介绍了台湾科技大学和实验室的概况,并以精密磨抛加工作为本次论坛的主要话题。他阐述了蓝宝石晶柱线切割机理以及蓝宝石晶圆等蓝宝石衬底的研磨和抛光加工,另外还详细描述了CMPMCPHECMPGLACMP技术的研究状况、模型、示意图和在SiC等材料上的应用情况。这些先进的加工技术和应用理念,拓展了老师、同学们的视野,使今后的科研工作又有了一条新思路。

在讲座的最后陈教授还与制造工程研究院师生进行了深入的交流,用心解答老师与同学们在学术上的疑问。陈教授的学术报告图文并茂,内容深入浅出,给师生们留下了深刻的印象,并赢得了大家的热烈掌声。